研發(fā)國內(nèi)首套超精密主動減振器

本報訊（記者 程墨 通訊員 高翔）7月10日，華中科技大學與武漢格藍若智能技術股份有限公司簽署成果轉(zhuǎn)化合作協(xié)議，由后者出資8000萬元，對華中科技大學陳學東院士團隊超精密主動減振技術進行產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化。

據(jù)悉，陳學東院士團隊“二十年磨一劍”，創(chuàng)新性地研發(fā)了準零剛度、頻變阻尼、協(xié)同控制等超精密主動減振核心技術，突破了降頻率與保承載、減共振與抑高頻、減振動與穩(wěn)位姿三大技術矛盾，解決了高性能主動減振關鍵核心技術難題。

超精密主動減振器是高端制造裝備、精密儀器設備的核心功能部件，是保證這些裝備高精度超穩(wěn)定運行的關鍵。產(chǎn)品應用于半導體高端制造設備、高精密機械加工車床等領域。該產(chǎn)品不僅可以高效隔離外部振動，還通過實時采集振動信息，基于先進的控制策略生成多維振動控制信號，精準抑制各種內(nèi)外部擾動導致的臺體振動，實現(xiàn)被減振部件接近“絕對靜止”的狀態(tài)。

中國超精密主動減振技術長期落后于國外企業(yè)，格藍若和陳學東院士團隊一舉突破了超精密主動減振器關鍵技術壁壘，實現(xiàn)國產(chǎn)自主可控。基于前期合作研發(fā)成果，格藍若推出超精密型、抗沖擊型、適用真空型等20余款超精密主動減振器。

《中國教育報》2024年07月12日第3版