天津大學團隊填補微型LED晶圓無損測試技術空白

中國教育報-中國教育新聞網(wǎng)訊（記者 陳欣然 通訊員 梁紹楠）微型LED被廣泛認為是下一代高端顯示技術的核心元件，而如何實現(xiàn)微型LED晶圓從生產(chǎn)到終端集成的全過程良率檢測，一直是困擾業(yè)界的難題，也阻礙了基于微型LED的終端產(chǎn)品如大面積顯示屏、柔性顯示屏的量產(chǎn)。近日，天津大學精密測試技術及儀器全國重點實驗室、精儀學院感知科學與工程系黃顯團隊打破微型LED晶圓測試瓶頸，實現(xiàn)微型LED晶圓高通量無損測試，研究成果日前在電氣領域頂級期刊《自然—電子學》（Nature Electronics）刊發(fā)。

研究團隊首次提出了一種基于柔性電子技術的巨量LED晶圓的無損接觸式電致發(fā)光檢測方法，該方法構建了包含彈性微柱陣列和可延展柔性電極陣列堆疊的三維結構柔性探針陣列。該研究在柔性電子與半導體測試領域取得了關鍵突破，打破了微型LED大規(guī)模電致發(fā)光檢測的技術瓶頸，首創(chuàng)微型LED晶圓高通量、無損檢測技術，實現(xiàn)了微型LED電致發(fā)光檢測技術從零到一的突破，為其他復雜晶圓如CPU、FPGA檢測提供了革命性技術方案。

該技術已在天開園核心區(qū)成立的萬柔科技和孚萊感知半導體公司開啟產(chǎn)品化進程，未來將為國內(nèi)微型LED產(chǎn)業(yè)提供批量化、無損、低成本的檢測解決方案，推動我國自主知識產(chǎn)權的原創(chuàng)性先進檢測裝備達到世界領先水平，進一步拓展了柔性電子技術的應用領域。該項技術也為面向AR/VR等應用場景的高良率面板制程奠定了基礎，隨著探針陣列規(guī)模與檢測通道的持續(xù)拓展，未來或?qū)⒃诰A級集成檢測、生物光子學等領域產(chǎn)生更廣泛影響。